机器人研磨系统、机器人系统、研磨装置、吸盘装置、驱动部件及压力产生装置

摘要

本实用新型公开了一种机器人研磨系统、机器人系统、研磨装置、吸盘装置、驱动部件及压力产生装置。该压力产生装置包括驱动部件和压力控制器：与现有技术中机器人研磨系统中各执行部件均由机器人控制器控制相比，本实用新型所提供的压力产生装置中，压力控制器和机器人控制器进行分担，由此，例如能够组合研磨专用的压力控制器和通用的机器人控制器等，这大大增加了机器人研磨系统在使用时的控制灵活性。