研磨机摇臂轴实验装置系统设计

摘要

针对研磨机在化学机械抛光方面复杂参数的影响,通过对研磨机的改造与设计,使得研磨工件自转的同时又公转,且速度可调.现详细阐述了改造后摇臂轴结构原理,该结构在工件研磨时,速度可控,研磨轨迹均匀,有效解决了机械抛光中各点去除率差异等问题.