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硅片研磨机的研磨料连续供给系统设计

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摘要

文章介绍了硅片双面研磨机及其工艺,指出单磨料桶供料系统不能连续供给研磨料.设计了双磨料桶供料系统,在硅片双面研磨机上实现了液态研磨料的连续供给.

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来源
《冶金丛刊》 |2018年第4期|12-14|共3页
作者
刘军; 谢鸿波; 赖韶辉; 姚永红;
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作者单位

广州半导体材料研究所,广东广州510610;

广州半导体材料研究所,广东广州510610;

广州半导体材料研究所,广东广州510610;

广州半导体材料研究所,广东广州510610;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类研磨设备;
关键词
研磨机; 研磨料; 连续供给;

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