法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C02F1/04 授权公告日:20180403 终止日期:20190908 申请日:20170908
专利权的终止
2018-04-03
授权
授权
机译: 用于半导体器件制造工艺的超纯水生产的消毒组合物,使用该组合物的超纯水生产装置的消毒方法以及用于半导体器件制造工艺的超纯水生产设备
机译: 超纯水生产设备的操作管理系统,超纯水生产设备的运行方法,以及超纯水生产设备的操作方法
机译: 纯水生产设备,纯水生产方法和超纯水生产设备