供电能储存用的高比表面积金属氮化物或金属氮氧化物

摘要

本发明涉及一种制备涂有高比表面积的氮氧化铌、氮氧化钽、氮氧化钒、氮氧化锆、氮氧化钛或氮氧化钼的基板的方法，所述基板作为电容器或电池构造中的电能储存元件，此方法主要包括：(a)用一选自卤化铌、卤化钽、卤化钒、卤化锆、卤化钛或卤化钼及一液态挥发性载体的溶液或浆液来涂覆薄片状的固态基板的一个或二个平坦蚀刻表面以制备一表面薄膜；(b)使步骤(a)的涂有金属卤化物表面膜载体的基板与氧、空气或其混合物接触以分别将金属卤化物转变成薄膜状的金属氧化物；(d)于氧、空气或其混合物中加热步骤(c)的涂有金属氧化物的基板以将金属氯化物转变成金属氧化物；(f)分别将基板上95%以上的氧化物涂层转变成氮氧化物层。