公开/公告号CN103865478B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 锦湖石油化学株式会社;
申请/专利号CN201310370128.2
申请日2013-08-22
分类号C09K3/00(20060101);C07C69/74(20060101);C07C69/347(20060101);C07C69/753(20060101);C07C69/75(20060101);G03F7/004(20060101);G02B1/11(20150101);
代理机构11327 北京鸿元知识产权代理有限公司;
代理人姜虎;陈英俊
地址 韩国首尔
入库时间 2022-08-23 09:40:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
专利权的转移 IPC(主分类):C09K3/00 登记生效日:20200803 变更前: 变更后: 申请日:20130822
专利申请权、专利权的转移
2016-06-01
授权
授权
2016-06-01
授权
授权
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K3/00 申请日:20130822
实质审查的生效
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 3/00 申请日:20130822
实质审查的生效
2014-06-18
公开
公开
2014-06-18
公开
公开
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机译： 用于有机抗反射膜的交联剂聚合物，包含其的有机抗反射膜组合物，以及利用该交联剂聚合物形成光致抗蚀剂图案的方法
机译： 新型吸收剂和用于形成该有机吸收剂的有机抗反射膜的组合物
机译： 用于有机抗反射膜的建筑药物聚合物，用于有机抗反射膜的建筑药物聚合物，有机抗反射膜的组成和图案形成如下所述。
