一种等离子体辅助高能球磨制备AlN纳米粉末的方法

摘要

一种等离子体辅助高能球磨制备AlN纳米粉末的方法，属于纳米制备技术领域。在大气压下利用双极性纳秒级高压窄脉冲电源或交流电源来作为驱动源，在氮气或氮气添加氩气的混合气体中获得介质阻挡放电等离子体来辅助高能球磨制备AlN纳米粉末的方法。本发明具有操作简单，成本低，比单独球磨制备氮化铝的晶粒尺寸小，错位缺陷大，晶粒内能高，碳热还原反应所需的温度低，转化率高等特点。