一种超高速超精密空气静压电主轴主动热控制系统

摘要

本实用新型公开了一种超高速超精密空气静压电主轴的主动热控制系统，温度传感器分别置于后径向轴承内套、内置电机定子线圈端部绕组、前径向轴承内套、左止推轴承、右止推轴承、进水口和出水口处；数据采集与处理卡和各温度传感器以及液体流量计相连；工业计算机分别连接数据采集与处理卡和工业控制器，工业控制器分别和自动循环冷水机和电磁比例阀连接；电磁比例阀和自动循环冷水机连接，进行冷却水的流量调节；并通过液体流量计时时监测冷却水的流量。本实用新型实现空气静压电主轴在工艺参数突变下的实时反馈精确热控制，从而满足空气静压电主轴在不同工作转速下的超精密加工需求。