玻璃基板干燥装置以及玻璃基板干燥系统

摘要

本实用新型涉及玻璃基板领域，公开了一种玻璃基板干燥装置以及玻璃基板干燥系统，该玻璃基板干燥装置包括壳体(1)、进气部、排气口以及可滑动地出入所述壳体的玻璃基板托架(2)，当所述玻璃基板托架(2)滑入到所述壳体(1)中时，所述壳体(1)和所述玻璃基板托架(2)共同形成四周封闭的腔室(3)，所述进气部用于连通风源并向所述壳体(1)中通入干燥空气，所述排气口用于排出所述腔室中的所述干燥空气，所述玻璃基板托架(2)上设置有用于放置所述玻璃基板的容纳区域，其中，进气部包括多个出风口，所述出风口竖直向下对准所述容纳区域。本申请提供的玻璃基板干燥装置成本低且能够防止玻璃基板上的光阻色彩不均以及光阻破洞。