一种多晶硅片切割过程中的浆料自动除铁装置

摘要

一种多晶硅片切割过程中的浆料自动除铁装置，包括侧面设有多个进料管的缸桶，所述缸桶下端设有锥形底，锥形底锥面上设有多个进气管，所述锥形底下端设有出渣管，出渣管侧面设有出料管，所述缸桶上端设有盖板，盖板下端面上均匀设有多个套管，套管内设有磁棒，所述缸桶内设有推刮板，推刮板经活塞推杆连接到盖板上端的气缸上。本实用新型可以把在线回收浆料的金属杂质在未被氧化成离子之前将其去除，控制线切浆料的电导率达到提纯浆料的纯度，从而改善多晶硅片的线切品质。