利用非等向性湿蚀刻法来进行平坦化的方法

摘要

一种利用非等向性湿蚀刻法来进行平坦化的方法。此方法包括将硫酸、磷酸、氢氟酸与水混合成一蚀刻溶液，然后将基底置于蚀刻溶液中，使蚀刻溶液以一适当流速流经基底上的绝缘层以进行蚀刻，此绝缘层具有多个沟渠。本发明利用蚀刻溶液在表面凹凸不平的绝缘层的不同流速来使蚀刻溶液对突起处的蚀刻速率大于对凹陷处的蚀刻速率，进而达成平坦化的目的。