一种小型硅压阻式气体压力传感器结构

摘要

本实用新型公开一种小型硅压阻式气体压力传感器结构，包括外壳、陶瓷基座、压力芯片和电路板；外壳中形成腔体，陶瓷基座安装在外壳的腔体中，压力芯片安装在陶瓷基座上与外部气体相通；电路板安装在腔体中与压力芯片电连接，电路板通过电缆线输出信号。本实用新型实现压力传感器小型化，提高压力传感器的动态特性。