一种微波环境下铝和气体反应制取膜装置

摘要

本实用新型公开了一种微波环境下铝和气体反应制取膜装置，包括箱体，所述箱体内固定设有微波发生器、波导、反应室和气体压力推进器，所述微波发生器的一端连接所述波导，所述波导的一侧设有三鞘钉调配器，所述波导内固定设有模式转换天线，所述模式转换天线下方设有石英窗口，所述石英窗口下方连接所述反应室，所述波导的一侧所述波导的一侧设有反应气体进入口，所述反应气体进入口通过管道连接所述气体压力推进器，所述反应室的内部固定设有基片加热器，所述基片加热器的上端固定设有基片，所述基片的上端固定设有等离子体，所述排气管穿过所述反应室连接箱体，该种实用新型能智能控制气体的比例，提高了制取铝薄膜的效率。