一种多电极的能量积分型X射线能谱探测器

摘要

一种多电极的能量积分型X射线能谱探测器，本征半导体敏感区的一侧表面通过重掺杂形成P型区，另一侧表面通过重掺杂形成N型区，P型区远离本征半导体敏感区一侧的表面上设置有背面电极，本征半导体敏感区和N型区部分采用浅沟槽隔离结构被隔离为具有2个以上的像素单元的结构，每一个像素单元的N型区远离本征半导体敏感区一侧的表面上由上至下设置有长度依次递增的第一正面电极、第二正面电极和第三正面电极，每一个像素单元的正面电极分别各依次通过一个整形滤波器和一个电荷积分器共同连接本像素单元中的集成电路处理器，每一个像素单元的上端表面构成X射线的入射面。本实用新型降低了扫描时间和射线剂量，提高了时间和空间的分辨率。