法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A23B7/148 授权公告日:20170912 终止日期:20171230 申请日:20161230
专利权的终止
2017-09-12
授权
授权
机译: 一种用于制造石英玻璃构件,用于气密密封紫外线型LLD元件和用于紫外LED的石英玻璃构件
机译: 电容耦合等离子体的电极结构,为了确保大面积等离子体源和基质处理设备(包括相同的来源),仅使用一种源代替几种源
机译: 耦合等离子体激元共振光谱仪和方法,用于在紫外和红外特定范围内测量薄膜性能