一种具有激光功率实时反馈的紫外激光器加工装置

摘要

本实用新型公开了一种具有激光功率实时反馈的紫外激光器加工装置，其包括上位机、与所述上位机电信号连接的紫外激光器、将所述紫外激光器发射出的激光进行垂直反射的第一45°全反透镜以及位于所述第一45°全反透镜背面的且与所述上位机电信号连接的功率反馈系统，所述功率反馈系统包括将所述第一45°全反透镜中的光信号转换成电信号的光电转换装置、与所述光电转换装置电信号连接的调理电路以及与所述调理电路电信号连接的控制器。本实用新型抗干扰能力强，能够实时监控激光功率，能够有效控制激光器光量，保证产品质量。