法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B5/04 授权公告日:20170714 终止日期:20171218 申请日:20161218
专利权的终止
2017-07-14
授权
授权
机译: 清洁设备,基板处理设备,清洁设备维护方法以及包括清洁设备维护程序的计算机可读记录介质
机译: 清洁设备和基板处理设备,清洁设备维护方法和程序
机译: 用于分离机舱空气处理系统中的固体颗粒的设备,具有包括分离元件的分离单元,以及可在分离位置和清洁位置之间移动的分离元件