测量PERC太阳电池局域接触空洞的装置

摘要

本实用新型公开了一种测量PERC太阳电池局域接触空洞的装置，包括：吸附台，设置于吸附台上方的刮刀，固定设置于刮头两侧的吸尘装置，图像扫描仪和硅片寻边系统，动力装置，计算机等。本实用新型通过采用机械方法去除铝层，漏出铝层覆盖住的局域接触区域，采用图像扫描方式摄取大面积范围内的局域接触形貌，进一步计算出接触空洞的比例。本实用新型具有操作简单，测试速度快的优点。