电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定系统

摘要

本实用新型公开一种电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定系统，中央控制单元用于承担整台设备的控制与监测，对电子束加工设备运行参数具有数字设定和数字采样功能，并产生控制指令。电子束发生器电源、聚焦电源、偏扫电源接受中央控制单元控制，并分别提供电子束发生器、聚焦装置中聚焦绕组和偏扫装置中x偏扫绕组和y偏扫绕组的驱动电源。变送器接受二次电子收集器信号，并通过整形放大送达中央控制单元。二次电子收集器接收电子束扫描过程产生的二次电子信息，并返回至中央控制单元。金属试件放置在真空工作室内电子束入口正下方，金属试件上表面与希望电子束聚焦于某高度平面平齐。本实用新型可以快速、精确地获取聚焦电流值。