一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪

摘要

本实用新型公开了一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪，包括激光器、第一平面镜、音圈电机、微悬臂梁阵列、反应管道、夹持台、第二平面镜、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机构成，所述激光器发射的激光束与第一平面镜所称的角度是45°；所述第一平面镜是由音圈电机带动其平行移动，使反射激光束依次从左向右或者从右向左平行式扫描微悬臂梁阵列的每个微悬臂梁自由端，使反射激光束照射到微悬臂梁自由端的位置一致，实现阵列扫描。本实用新型操作简单，测量灵敏度高，扫描速度快，光路简单，容易搭建。