一种带旁路微流道的电共轭流体微型泵

摘要

本实用新型公开了一种带旁路微流道的电共轭流体微型泵，包括下壳体(2)、盖住并密封下壳体(2)的盖板(1)、下壳体(2)上加工有流体槽(14)，流体槽(14)中依次排列有由三棱柱电极(4)和缝隙电极(5)形成的电极对；盖板(1)上有与流体槽(14)相连的进液管(13)和出液管(12)；其特征在于：所述的下壳体(2)的流体槽(14)的一侧，加工有旁路微流槽(15)；旁路微流槽(15)的端部与流体槽(14)的端部连通，旁路微流槽(15)的高度与流体槽(14)相等、宽度为流体槽(14)的1/15～1/20。该种电共轭流体泵在小流量或零流量输出时，输出压力高。尤其适用于小流量或零流量输出、大输出压力场合使用。