一种大功率中性束射频离子源匹配箱

摘要

本实用新型公开了一种大功率中性束射频离子源匹配箱，射频电源的输入口通过连接铜排穿过所述的输入端电流传感器与并联电容连接，并联电容的两端分别连接与射频隔离变压器的原边的两端，射频隔离变压器的副边一端输出连接串联电容，另一端与串联电容的另一端一起穿过所述的输出端电流传感器再通过输出绝缘子连接到射频离子源的线圈上。本实用新型通过有效的结构设计和合理布局，为大功率中性束射频离子源等离子体稳定放电提供了合适的阻抗匹配，并通过射频隔离变压器和绝缘支撑设计，将在离子束引出时悬浮于高压电位的离子源与地电位的射频电源进行了隔离，确保了中性束射频离子源的正常运行。