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伺服马达制造方法、伺服马达制造装置、伺服马达和编码器

摘要

光学模块(120)包括用于接收来自旋转盘(110)的同心圆隙缝(CS1)的发射光的位置调整用受光元件(150UL、150UR);和在径向上与位置调整用受光元件(150UL、150UR)不同的位置处、用于接收来自同心圆隙缝(CS2)的反射光的位置调整用受光元件(150D)。通过以位置调整用受光元件(150UL、150UR)的输出大致相等的方式驱动旋转马达(175),来执行光学模块(120)的倾斜方向的位置调整。而且,还通过以已经变为大致相等的位置调整用受光元件(150UL、150UR)的输出中的任意一个变为大致等于位置调整用受光元件(150D)的输出的方式驱动线性马达(174),来执行光学模块(120)的径向的位置调整。

著录项

  • 公开/公告号CN103718004B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社安川电机;

    申请/专利号CN201180072458.2

  • 申请日2011-07-22

  • 分类号G01D5/347(20060101);H02K15/14(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人吕俊刚;王伶

  • 地址 日本福冈县

  • 入库时间 2022-08-23 09:40:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-05-18

    授权

    授权

  • 2014-05-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/347 申请日:20110722

    实质审查的生效

  • 2014-04-09

    公开

    公开

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