公开/公告号CN206034201U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 成都铁路工务有限公司;
申请/专利号CN201621036898.9
申请日2016-08-28
分类号
代理机构
代理人
地址 610000 四川省成都市成华区八里庄55号
入库时间 2022-08-22 02:17:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-22
授权
授权
机译: 等离子体增强化学气相沉积装置和等离子体增强化学气相沉积方法
机译: 等离子体增强化学气相沉积装置,等离子体增强化学气相沉积室和气体分配喷头组件
机译: 用于等离子体增强化学气相沉积的方法和用于等离子体增强化学气相沉积的设备