一种离线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置

摘要

一种离线测试刻蚀后硅片边缘电阻的装置，包括一用于承载硅片的底座和四对欧姆表表笔，四对欧姆表表笔分别对应于硅片的四条侧边缘设置，且各欧姆表表笔与底座之间绝缘设置，底座与硅片之间绝缘设置；两条相对的侧边缘对应的两对欧姆表表笔中，至少一对欧姆表表笔相对于底座在垂直于对应侧边缘的方向上移动设置；每对欧姆表表笔中至少一支欧姆表表笔沿平行于硅片对应侧边缘的方向上移动设置。