一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪

摘要

本发明公开了一种拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具‐定位仪。滑轨卡在转坞的凹槽中沿着转坞的凹槽滑动，转坞绕着转坞轴转动；两个伸缩杆轮齿与转坞壳内部的齿轮进行啮合；转坞壳设计为中空圆柱，上表面预留一个与转坞轴相配合的圆孔，转坞轴通过此孔插入到转坞壳内部的齿轮中间的孔中；固定臂垂直于两条伸缩杆，测角仪固定在转坞壳及固定臂上。而由于拉曼仪器本身入射光斑非常小，对测量位置的精确定位很难实现。针对该问题，本发明可以将入射激光较为准确地定位到试样任何测量位置，从而保证了不同试样测量结果的可对比性，极大地提高了拉曼测量的定位精度和结果的可靠性，加工简单，成本低廉。