一种微通道板组件处理及测试设备

摘要

本实用新型公开了一种微通道板组件处理及测试设备，包括依次连接的预真空室、真空烘烤室、电子清刷及测试室、真空过渡室及出样室，所述的预真空室、真空烘烤室、电子清刷及测试室、真空过渡室及出样室形成互相联通的腔体结构，所述的腔体结构内设有样品行走机构，所述的预真空室连接有机械泵和分子泵，所述的电子清刷及测试室连接有溅射离子泵。本实用新型中抽真空设备采用机械泵、分子泵加离子泵三级真空获得系统，确保系统的真空度达到10