毛细管放电Z箍缩极紫外光辐射收集系统的真空室

摘要

毛细管放电Z箍缩极紫外光辐射收集系统的真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术，为了解决常规的真空室不适用毛细管放电Z箍缩极紫外光辐射收集系统的问题。包括真空室I和真空室II两部分，真空室I的一端连接放电室，真空室I的另一端与真空室II相连通，放电室与真空室I连接处，设置有光源的毛细管，真空室I和真空室II连接处设置有收集镜支架，多层光学收集镜均固定在收集镜支架上，真空室II的内部还设置有探测系统，用于对EUV光源放电特性和辐射光的动态监测，毛细管与多层光学收集镜之间设置有杂质过滤装置，真空室II的末端用于连接照明系统。本实用新型的真空室不仅具有良好的真空度，而且收集效率高。