基于一维运动机构和二维位置传感器的六自由度定位系统

摘要

基于一维运动机构和二维位置传感器的六自由度定位系统，该系统包括半导体激光器、光纤准直器、光纤分路器、滤光片、两个一维运动机构、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器，后经光纤分路器分成三路，三路光经输出光纤和滤光片后，分别由三个PSD传感器接收；激光光斑在三个PSD传感器的位置和两个一维运动机构的位移经信号处理系统处理，得到空间六自由度的物体位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免线缆对平台运动精度的影响，并采用一维运动机构进行跟踪测量，解决了二维位置敏感传感器测量行程不足的问题，具有定位精度高、测量行程大、响应快、结构简单及成本低的特点。