具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构

摘要

本实用新型公开了一种具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，包括轴承座（1），外减振胶圈（2a），内减振胶圈（2b），密封圈（3），减振环（4），轴承（5），减振弹簧（6），压弹盖（7），轴承锁紧螺母（8），主轴（9），其中减振环（4）上设有下弹簧定位槽（401）和轴向限位环（402），压弹盖（7）上设有上弹簧定位槽（701），压弹盖（7）通过减振弹簧（6）将减振环（4）和轴承（5）压紧，减振环（4）与轴承座（1）之间留有一定的轴向间隙。该实用新型的减振结构对轴系部件具有轴向和径向双重减振功能，装配工艺简单、减振性好、工作可靠度高。