多点分布卤灯加热的球形朗缪尔探针表面污染物清洗装置

摘要

本发明公开了多点分布卤灯加热的球形朗缪尔探针表面污染物清洗装置，能够提高朗缪尔探针表面污染物清洗的有效性。9盏卤灯在空心球形朗缪尔探针内部XOZ平面和YOZ平面内表面按60°角间距均匀安装，OZ轴负向的空心球形朗缪尔探针内表面开有走线口，不安装卤灯；测温电阻表贴于空心球形朗缪尔探针内表面，卤灯供电电缆及测温电阻供电电缆采用多芯单层绝缘屏蔽电缆穿过空心金属杆分别与卤灯及测温电阻连接；空心金属杆采用真空钎焊固定在陶瓷绝缘底座的中空体内；卤灯供电电缆和测温电阻供电电缆连接控制模块。