一种基于环形反射腔汇聚激光束的微探针尖端热加工装置

摘要

本实用新型公开了一种基于环形反射腔汇聚激光束的微探针尖端热加工装置，涉及微探针尖端加工制造领域。该装置包括：激光发生器、圆锥反射镜、环形激光反射腔、激光吸收器、微探针支架和位移平台。所述的激光发生器发出的激光束经过圆锥反射镜的反射后形成环形光进入环形激光反射腔中，再在环形激光反射腔的作用下汇聚到微探针尖端对其加工。采用该方法对微探针进行热加工，能够使微探针尖端均匀受热并提高热应力分布均衡性，加工后的微探针不易弯曲、不易变形，具有高几何对称精度，有利于形成高质量的微探针尖端形貌，满足微细加工及精密测量对微探针尖端几何形貌的精度要求。