一种罗茨泵和真空机械泵的减震机构

摘要

本实用新型公开了一种罗茨泵和真空机械泵的减震机构，包括充气垫铁和气垫支撑板，罗茨泵和真空机械泵均固定在气垫支撑板上，罗茨泵的底部和真空机械泵的底部均安装有橡胶减震垫，橡胶减震垫位于罗茨泵底部及真空机械泵底部与气垫支撑板上表面之间；所述充气垫铁共多个，且均设置在气垫支撑板下侧，充气垫铁的底端固定连接激光器框架，顶端固定连接气垫支撑板；该罗茨泵和真空机械泵的减震机构，将激光器内的振动源与激光器框架分离，减震效果明显，且通过二级减震消除罗茨泵和真空机械泵的绝大部分振动，保证了激光器谐振腔体的运行稳定性。