公开/公告号CN205428874U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 K.C.科技股份有限公司;
申请/专利号CN201520840851.7
申请日2015-10-27
分类号
代理机构北京冠和权律师事务所;
代理人朱健
地址 韩国京畿道安城市
入库时间 2022-08-22 01:33:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-04
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/304 登记生效日:20180413 变更前: 变更后: 申请日:20151027
专利申请权、专利权的转移
2016-08-03
授权
授权
机译: 能够处理多种晶圆抛光过程的晶圆处理系统
机译: 能够进行多种处理的晶圆处理系统
机译: 能够高效冷却晶圆的真空处理系统,该晶圆在高温下进行处理