公开/公告号CN205323429U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 金川集团股份有限公司;
申请/专利号CN201520966214.4
申请日2015-11-30
分类号
代理机构中国有色金属工业专利中心;
代理人李子健
地址 737103 甘肃省金昌市金川路98号
入库时间 2022-08-22 01:26:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-22
授权
授权
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 用于液浴真空吸尘器的液盘组件的过滤装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置