位置敏感探测器定位误差的标定装置

摘要

本实用新型提供一种位置敏感探测器定位误差的标定装置，包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器；单轴精密转台固定于电控平移台上，单轴精密转台上放置有PSD。单轴精密转台通过螺栓与电控平移台固定。该装置可以很容易的调整PSD光敏面法线与电控位移台的移动方向垂直，避免了因坐标系旋转而引入的测试误差，提高了PSD定位误差的测试精度。