一种绝对式光栅尺的绝对位置测量装置

摘要

本实用新型公开了一种绝对式光栅尺的绝对位置测量装置，包括光源模块、标准光栅、物镜、光电传感器模块和信号处理器，标准光栅上设有绝对码道，光源模块发出的光束入射到标准光栅上并经过绝对码道透射或反射后，通过物镜后到达光电传感器模块，光电传感器模块采集到达的光信号并转换为测量电信号后发送到信号处理器。本实用新型可以实现不同倍数的细分，提高绝对位置测量装置的分辨率，而且本测量装置体积小、开发成本低且开发难度低，可广泛应用于光栅尺测量领域中。