微机电检测结构、微机电传感器和电子器件

摘要

本实用新型涉及一种微机电检测结构(10)、微机电传感器和电子器件，微机电检测结构设有具有在平面(xy)上延伸的上表面(2a)的基板(2)；检测电极布置(5a，5b)；悬置在基板和检测电极布置的之上的惯性质量体(3)；和弹性元件(8a，8b)，使惯性质量体耦合到相对基板固定的中央锚定元件(7)，使惯性质量体根据沿垂直轴线(z)的待检测的量而围绕旋转轴线(A)自由旋转，中央锚定元件布置在旋转轴线上。悬置结构(12)耦合到检测电极布置以支承悬置在基板之上和惯性质量体之下的检测电极布置(5a，5b)，并经由至少一个第一锚定区(14a，14b)锚定到基板(2)；固定电极布置(5a，5b)经至少一个第二锚定区(16)锚定到悬置结构(12)。