一种四倍程的双频外差激光干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种四倍程的双频外差激光干涉仪，包括双频激光器，偏振分光镜，二个四分之一波片，移动镜，固定镜和二个角锥棱镜。其特征是稳定性能好，结构简单，测量信号的四倍程光路可提高双频外差激光干涉仪的测量精度，使得双频外差激光干涉仪的分辨率达到0.15nm，主要适用于纳米技术、超精密机械加工、微型机电系统的制造与检测等涉及的精密测量领域。