一种基于扩散炉的进出舟装置

摘要

本实用新型涉及扩散炉领域，具体涉及一种基于扩散炉的进出舟装置，该进出舟装置上安装有石英舟，该石英舟通过进出舟装置在扩散炉与插片机之间往返，该进出舟装置包括：载体，其包括底板和设置在底板上的定位件，该石英舟与定位件配合安装，该石英舟通过定位件固定在底板上；运输平台，其包括运输轨道和动力机构，该动力机构设置在运输轨道上，该载体放置在运输轨道上，并通过动力机构的带动在运输轨道上往返。本实用新型通过设计一种基于扩散炉的进出舟装置，石英舟通过运输平台将载体上，实现在扩散炉与插片机之间往返，从而形成生产自动一体化，提高生产效率；同时进出舟装置结构简单，其具有生产成本低廉、运行可靠、维护方便等优点。