一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统

摘要

本实用新型公开了一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统，包括蚀刻液处理系统和氯气回收系统，蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线（1）、母液储存罐（2）、电解槽和溶解吸收系统（6），电解槽包括阴极槽（3）和阳极槽（5），母液储存罐（2）、阴极槽（3）、阳极槽（5）、溶解吸收系统（6）依次连通，蚀刻生产线（1）分别与母液储存罐（2）和溶解吸收系统（6）连通，氯气回收系统包括洗气系统（7）和尾气处理系统（8），阳极槽（5）、洗气系统（7）和尾气处理系统（8）依次连通。本实用新型的有益效果是：该系统用于处理酸性蚀刻废液，具有可离线生产、节约成本、节约资源、能够防止环境污染等优点。