一种真空获得系统气体分析控制实施装置

摘要

本实用新型涉及一种真空获得系统气体分析控制实施装置，包括真空槽、除尘器、真空泵组，所述真空槽与除尘器之间通过真空管道一相连，所述除尘器与真空泵组之间通过真空管道二相连，所述真空管道二上设有激光气体分析仪、压力检测仪表，所述激光气体分析仪、压力检测仪表分别与PLC控制器输入端相连，所述PLC控制器又分别与真空泵组、吹扫气源控制开关相连，所述吹扫气源控制开关与吹扫气源相连，所述吹扫气源上设有吹扫气管。本实用新型将真空槽内释放出的气体成份分析起始时间提前，缩短了真空获得系统对真空槽内气体成份变化进行控制的响应时间，达到快速实时的检测分析真空槽内气体成份变化，并以此精准控制真空获得系统的真空获得系统。