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一种扫描电子显微镜测试制样平台

摘要

一种扫描电子显微镜测试制样平台,包括一载物台、一协助平台及压料柱;其中:所述载物台具有一载物平面;所述协助平台具有一基板,该基板上开设有储料通孔;所述压料柱为一柱状构件,该柱状构件与储料通孔相匹配;在使用状态下,所述基板的一侧表面与载物平面贴合,储料通孔与载物平面配合形成一端开口的容置空间,待测试粉末置于该容置空间内,压料柱设于所述容置空间内将待测试粉末压实在容置空间中。本实用新型方便添加、定位和固定样品,且中样品成型以后能够保持样品形状不被破坏;解决了现有技术中测试样品稀薄和粉末飘散的问题;不需要另外添加成分,确保料成分分析的准确性;测试完毕后易于清理。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-10-10

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N1/28 授权公告日:20151202 终止日期:20160818 申请日:20150818

    专利权的终止

  • 2015-12-02

    授权

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