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防尘同步带轮及防尘同步传输装置

摘要

本实用新型提出了一种防尘同步带轮及防尘同步传输装置,在防尘同步带轮中的旋转轴形成真空管路,并且在轮体中形成真空孔,使真空孔与真空管路连通,从而构成一个真空排出颗粒的回路,在同步带形成磨损形成颗粒后,颗粒会落入真空孔中,再由真空排出颗粒的回路将颗粒排出,避免颗粒污染产品,提高产品的良率。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-19

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/677 授权公告日:20151125 终止日期:20160731 申请日:20150731

    专利权的终止

  • 2015-11-25

    授权

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