一种数值孔径可控的微透镜阵列的电辅助制造方法

摘要

一种数值孔径可控的微透镜阵列的电辅助制造方法，采用透明导电玻璃作为基材，先在基材上制备介电层，再在介电层上制备微型液滴阵列，然后搭接直流电源，将透明导电玻璃的导电面接入电压负极端，并将插入微型液滴的铜丝电极接入电压的正极端施加电压，增大电压可减小微型液滴的表观接触角，同时增大微型液滴的曲率半径，对不同的微型液滴施加不同的电压可获得不同的曲率半径，最后撤去电压并抬起铜丝电极，采用紫外灯箱辐照将成型的微型液滴阵列固化，获得变数值孔径的固态微透镜阵列，本发明在电润湿作用下能够精确且可重复地调控微型液滴的接触角，实现了在同一个光学器件上获得具有不同数值孔径的微透镜阵列。