螺旋型的表面部分电极含金属芯压电陶瓷纤维驱动器

摘要

螺旋型的表面部分电极含金属芯压电陶瓷纤维驱动器，包括金属芯、压电陶瓷层、金属层，所述金属芯外包裹着压电陶瓷层，压电陶瓷层外纵向喷镀有金属层；该纤维驱动器呈螺旋状，包裹着金属芯的压电陶瓷层的横截面为圆形。该压电器件有较大的端部驱动位移、较小的夹持力、驱动电压以及响应速度快，可用作超精密加工、精密控制以及微操作系统中，其结构简单，可靠性高，工艺简单，适合批量生产。