公开/公告号CN204740009U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-11-04
原文格式PDF
申请/专利权人 丹阳丹耀光学有限公司;
申请/专利号CN201520336845.8
申请日2015-05-22
分类号
代理机构南京正联知识产权代理有限公司;
代理人郭俊玲
地址 212325 江苏省镇江市丹阳市访仙镇窦庄河东
入库时间 2022-08-22 00:53:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B11/27 授权公告日:20151104 终止日期:20160522 申请日:20150522
专利权的终止
2015-11-04
授权
授权
机译: 偏轴照明下光掩模透射率的测量设备及方法
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