稳压管硼扩散后硼硅相玻璃层的去除装置

摘要

本实用新型涉及一种稳压管硼扩散后硼硅相玻璃层的去除装置，设有石英容器，所述石英容器内盛有CuSO₄饱和溶液，所述CuSO₄饱和溶液内放置有一硅片，所述硅片通过导线与直流电源的正极相连接，所述直流电源的负极通过导线与CuSO₄饱和溶液内的电极相连通。本实用新型具有简单、操作方便、快速有效，在室温通风环境下即可实现，可保证高可靠器件的需求，同时避免了由于硅片表面硼硅相玻璃去除不干净导致硅片的报废。