法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):E02B 3/06 变更前: 变更后: 申请日:20141028
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-05-04
授权
授权
2015-04-01
实质审查的生效 IPC(主分类):E02B 3/06 申请日:20141028
实质审查的生效
2015-03-04
公开
公开
机译: 用于形成浸入过程的抗蚀膜的材料,由这种材料制成的抗蚀膜以及使用该抗蚀膜形成抗蚀图案的方法
机译: 用于形成浸入过程的抗蚀膜的材料,由这种材料制成的抗蚀膜以及使用该抗蚀膜形成抗蚀图案的方法
机译: 用于形成浸入过程的抗蚀膜的材料,由这种材料制成的抗蚀膜以及使用该抗蚀膜形成抗蚀图案的方法