一种新型高精度高稳度脉冲型光电轴径测量系统

摘要

本实用新型公开了一种新型高精度高稳度脉冲型光电轴径测量系统，包括扩束凸透镜，扩束凸透镜前侧焦点处具有光源，后侧依次设有平行的前参考板和后参考板；前参考板的上半部分透光，下半部分刻有第一计数光栅；后参考板上半部分不透光，并在靠近顶端的位置开有一通光孔，下半部分刻有第二计数光栅；后参考板的上半部分后侧设有第一会聚凸透镜，在第一会聚凸透镜的后侧焦点处设有第一光电探测器，后参考板的下半部分后侧设有第二会聚凸透镜，在第二会聚凸透镜的后侧焦点处设有第二光电探测器；本实用新型不需要要求参考板匀速运动，大大提高测量精度和稳定性，基本满足超精密加工过程中的轴径检测精度需求。